1.一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：包括激光器（101）、光束隔离器（102）、分光棱镜（103）、准直镜A（104）、待测光机组件（105）、带孔光屏（106）、准直镜B（107）、相位板（108）、CCD相机（109）、计算机系统（110）；激光器（101）产生的激光依次经光束隔离器（102）、分光棱镜（103）、准直镜A（104）后入射至待测光机组件（105）并产生反射，待测光机组件（105）的反射光经准直镜A（104）后入射至分光棱镜（103）并产生反射，分光棱镜（103）的反射光经由带孔光屏（106）、准直镜B（107）、相位板（108）后入射至CCD相机（109）；CCD相机（109）与计算机系统（110）连接，CCD相机（109）记录的光斑图将被输入计算机系统（110），用于面形在位检测；采用上述的光机组件面形在位检测装置进行检测时，具体步骤为：步骤1，激光器（101）发出激光，调整光机组件面形在位检测装置的姿态，激光依次经光束隔离器（102）、分光棱镜（103）、准直镜A（104）、待测光机组件（105）、准直镜A（104）、分光棱镜（103）、带孔光屏（106）、准直镜B（107）、相位板（108）、CCD相机（109），并在CCD相机（109）上产生衍射光斑；步骤2，采集并保存CCD相机（109）不同像面坐标所对应的衍射光斑 ；步骤3，利用相位板（108）的光场复振幅 、衍射光斑 迭代待测光机组件（105）的面形；具体迭代步骤为：步骤3-1，给待测光机组件（105）一个初始的随机猜测的光场复振幅 ；步骤3-2，支撑域约束S：指对待测光机组件（105）的约束，该约束用于限制待测光机组件（105）的光场复振幅分布区域大小及位置： ；步骤3-3，将限制后的随机猜测 传输至相位板（108），并分别得到相位板（108）的入射光场复振幅 、出射光场复振幅 ： ； ；步骤3-4，将相位板（108）的出射光场复振幅 传输至CCD相机（109），得到CCD相机（109）的光场复振幅 ： ；步骤3-5，利用CCD相机（109）采集的衍射光斑 对光场复振幅 进行模值约束： ；步骤3-6，将约束后的光场复振幅 反传输至相位板（108），得到相位板（108）的更新出射光场复振幅 、更新入射光场复振幅 ： ； ；步骤3-7，将更新入射光场复振幅 反传输至待测光机组件（105），并更新待测光机组件（105）的光场复振幅，得到待测光机组件（105）的更新光场复振幅 ： ； ；步骤3-8，重复步骤3-1至步骤3-7，直至循环终止条件达成，完成迭代；其中， 表示CCD相机（109）中的像面坐标， 表示相位板（108）、待测光机组件（105）中的像面坐标， 表示支撑域， 表示衍射传输运算， 表示相位板（108）的光场复振幅的复共轭， 表示逆衍射传输运算， 表示反传输至待测光机组件（105）的光场复振幅。
2.如权利要求1所述的一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：激光器（101）与带孔光屏（106）均位于准直镜A（104）的焦点位置。
3.如权利要求1所述的一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：准直镜A（104）与准直镜B（107）共焦放置，且准直镜A（104）与准直镜B（107）的焦距比均为8。
4.如权利要求1所述的一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：分光棱镜（103）的分光比为1:1。
5.如权利要求1所述的一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：激光器（101）输出的激光的波长为632.8nm，带孔光屏（106）的中心小孔的直径为2mm，相位板（108）与CCD相机（109）的靶面之间的间距为20mm。
6.如权利要求1所述的一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：相位板（108）的基片的材料为熔石英，基片的尺寸为φ25.4mm×1.5mm；相位板（108）的相位调制区域的有效通光口径为15mm，相位调制区域的相位调制单元格为随机分布，且相位调制单元格的尺寸为20μm；相位板（108）采用光刻蚀方式制作，占宽比为0.5，且刻蚀区域与非刻蚀区域的光程差为130nm。
7.如权利要求1所述的一种光机组件面形在位检测装置，其特征在于：步骤3-8中，循环终止条件为：当 小于收敛判据的要求时跳出迭代循环； ；其中，N表示迭代总数， 表示第n次迭代CCD相机（109）像平面的光束振幅分布， 表示CCD相机（109）采集的衍射光斑。
