1.一种基于集成光波导的片上加速度计，包括机械组件（1）和两根透镜光纤（20），其特征在于：所述机械组件（1）包括固定底座（11）和固定在该固定底座（11）上的加速度传感芯片（12）；其中，所述固定底座（11）设有四个用于固定机械组件（1）的固定螺孔（111）和一个用于固定透镜光纤（20）的光纤槽（112），且固定底座（11） 的中间位置向下镂空，镂空大小使得所述加速度传感芯片（12）的弹簧-质量块振子结构悬空，并能够在外界加速度作用下沿着敏感轴方向自由活动；所述的固定螺孔（111）用于固定安装所述的机械组件（1）；所述加速度传感芯片（12）包括一个整体呈回字型的外部框架（121）、一个质量块（123）、两组弹簧悬臂梁（122）、两个侧方位模斑转换器（124）、两组相同长度的传输波导（125）和两个下方位模斑转换器（126）；所述质量块（123）周缘对称分布有两个凸型结构（1231），该凸型结构（1231）的顶面作为反射面，将所述侧方位模斑转换器（124）出射的激光反射并重新耦合到侧方位模斑转换器（124）中，所述侧方位模斑转换器（124）和质量块（123）的凸型结构（1231）的顶面之间构成两个空气腔，该空气腔的腔长在发生相对位移的质量块（123）的带动下产生变化，进而导致光程变化；所述传输波导（125）采用相同长度的对称结构以形成迈克尔逊平衡干涉仪结构，保证两臂所受到的噪声具有相同的特性和来源，呈现出高度的一致性和同步性；所述弹簧悬臂梁（122）连接所述外部框架（121）和质量块（123）共同构成弹簧-质量块振子结构；所述两根透镜光纤（20）排紧贴固定在所述光纤槽（112）内。
2.根据权利要求1所述的基于集成光波导的片上加速度计，其特征在于，在加工过程中对加速度传感芯片（12）溅射一层金属膜，用于增加凸起顶面的反射率。
3.根据权利要求1所述的基于集成光波导的片上加速度计，其特征在于，所述透镜光纤（20）包括第一透镜光纤（201）和第二透镜光纤（202）。
4.根据权利要求3所述的基于集成光波导的片上加速度计，其特征在于，所述迈克尔逊平衡干涉仪结构作为传感光路（2）包括3×3耦合器（22）、第一透镜光纤（201）、第二透镜光纤（202）、第一凸起顶面（12311）、第二凸起顶面（12312）、第一光电探测器（231）和第二光电探测器（232）；光源（21）发出的光注入所述3×3耦合器（22）分为两路，分别进入第一透镜光纤（201）、第二透镜光纤（202），然后分别通过第一下方位模斑转换器（1261）和第二下方位模斑转换器（1262）进入第一传输波导（1251）和第二传输波导（1252）中，之后分别由第一侧方位模斑转换器（1241）和第二侧方位模斑转换器（1242）出射，形成两路光信号，两路光信号分别经过第一凸起顶面（12311）和第二凸起顶面（12312）反射，沿原路返回分别重新耦合回到第一透镜光纤（201）和第二透镜光纤（202）中，由3×3耦合器（22）输出两路干涉信号分别经第一光电探测器（231）和第二光电探测器（232）后，由数据采集电路（24）采集并发送至计算机（25）进行解调处理。
5.根据权利要求3所述的基于集成光波导的片上加速度计，其特征在于，所述第一透镜光纤（201）和第二透镜光纤（202）紧贴并排，其尾纤部分缠绕成圈和3×3耦合器（22）一同固定在固定底座（11）背部的镂空空间中。
6.根据权利要求1-5任一所述的基于集成光波导的片上加速度计，其特征在于，在片上加速度计的动态振动响应过程中，加速度计固定在被测物体的表面并随之移动，弹簧-质量块结构相对于外部框架（121）移动，分别由第一侧方位模斑转换器（1241）和第一凸起顶面（12311）之间以及第二侧方位模斑转换器（1242）和第二凸起顶面（12312）之间构成的两个空气腔均作为迈克尔逊干涉仪的传感臂，在发生相对位移的质量块（123）的带动下，两个气隙的腔长呈推挽式变化，即一个腔长增大时，另一个腔长减小，光在传感光路中传播的相位随着外界振动信号而变化，并且光学相位的总变化是单传感臂结构的两倍。
