1.一种高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,包括汇管,所述汇管通过进气阀与大气连通,同时所述汇管通过调压模块与气源预处理模块连通;所述汇管通过上游管路连接有一个或并联的多个盘型活塞装置,所述盘型活塞装置通过下游管路连接有检测试验台;所述盘型活塞装置包括活塞缸,在所述活塞缸内设置有盘型活塞,所述活塞缸为密封腔体,所述盘型活塞将所述活塞缸分为平衡腔与计量腔,在所述平衡腔与所述计量腔之间设置有压差传感器,其中所述上游管路与所述平衡腔连通,所述下游管路与所述计量腔连通,且所述平衡腔与计量腔之间通过连接管路连通,在各个管路上设置有阀门,所述活塞连接有活塞杆,所述活塞杆穿过平衡腔伸出所述活塞缸外与驱动机构连接。
2.根据权利要求1所述的高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述驱动机构包括伺服电机、减速器、联轴器以及丝杆,所述活塞杆外端通过导向板与导柱连接,在所述导柱一侧设置有光栅尺。
3.根据权利要求1所述的高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述盘型活塞装置共有两个,两个盘型活塞装置工况流量范围分别为0.1~30L/min和1~500L/min。
4.根据权利要求1所述的高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述气源预处理模块包括依次连接的空压机、缓冲容器、高压除湿机、开关阀、储气容器、换热器以及减压阀。
5.根据权利要求1所述的高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述调压模块包括并联的第一调压管路和第二调压管路,在所述第一调压管路上依次设置有减压阀和开关阀,在所述第二调压管路上依次设置有两个减压阀以及开关阀。
6.根据权利要求1所述的高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述上游管路包括并联的恒流管路和恒压管路,在所述恒流管路上设置有流量控制器组和开关阀,在所述恒压管路上设置有开关阀。
7.根据权利要求1所述的高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述检测试验台包括音速喷嘴检测试验台和流量计类检测试验台。
8.根据权利要求7所述的高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述音速喷嘴检测试验台包括第一检测管路,在所述第一检测管路上依次设置有滞止容器、喷嘴安装工位、背压容器,第一检测管路的末端连通大气且并联有真空泵。
9.根据权利要求7所述的高压可调主动盘型活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述流量计类检测试验台包括第二检测管路,在所述第二检测管路上设置有流量计安装工位,在所述第二检测管路的末端连接有背压调节阀组且并联有与大气连通的支路。