1.一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,包括:金属薄膜层和压电基底形成的双层结构;所述金属薄膜层位于所述压电基底上,包括环形叉指电极、环形反射栅、汇流条和焊盘;所述环形叉指电极由在同一直线上的相向汇流条向两侧沿圆周方向延伸而出,其电极线宽与间距的和为半个声表面波波长;所述环形反射栅布置在所述环形叉指电极外围,其反射栅线宽和间距的和为半个声表面波波长;其中,所述压电基底能将外界温度转化为声表面波谐振频率,通过扫频电信号输入所述环形叉指电极,与所述反射栅引发谐振,读取对应谐振频率,以此感知外界温度。
2.如权利要求1所述的基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,所述金属薄膜层包括黏附在所述压电基底上的金属黏附层和附着在所述金属黏附层上的耐高温金属导电层。
3.如权利要求2所述的基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,所述金属黏附层的材料包括铬或钛。
4.如权利要求2或3所述的基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,所述耐高温金属导电层的材料包括铂或金。
5.如权利要求2至3任一项所述的基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,所述金属黏附层厚度为5nm-15nm。
6.如权利要求2至3任一项所述的基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,所述耐高温金属导电层厚度为80nm-300nm。
7.如权利要求1至3任一项所述的基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,所述压电基底为压电晶体、压电陶瓷或压电薄膜,所述压电基底为压电薄膜时,所述压电薄膜附着在耐高温基底上。
8.如权利要求7所述的基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,所述压电晶体或压电陶瓷厚度为300μm-1000μm。
9.如权利要求7所述的基于环形叉指电极的声表面波温度传感器,其特征在于,所述压电薄膜厚度为1-2个声表面波波长,所述压电薄膜附着的耐高温基底为300μm-1000μm。