有效

一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器

张旻、王国丞
清华大学深圳国际研究生院

摘要

本发明公开了一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器。所述传感器是谐振型的声表面波传感器,包括金属薄膜层与压电基底。所述金属薄膜层包括环形叉指电极、环形反射栅、汇流条和焊盘,其中环形叉指电极由在同一直线上的相向汇流条向两侧沿圆周方向延伸而出,环形反射栅布置在环形叉指电极外围。金属薄膜层通过微纳加工工艺在基底表面进行金属图形化制备。该传感器能将环境温度转化为传感器的声表面波谐振频率,利用扫频电信号读取传感器频率的变化来感知外界温度的变化。该传感器具有耐高温、量程大、信噪比高、准确性高、易加工等优点。