一种基于结构化空腔的水下柔性压力传感器的制作方法

本发明公开了一种基于结构化空腔的水下柔性压力传感器的制作方法，该基于结构化空腔的水下柔性压力传感器的制作方法包括以下步骤：设计并制备空腔模具；将空腔模具表面进行氟化；PDMS空腔底座的制备；压力敏感薄膜的制备；压力敏感部分的封装；将封装好的压力敏感部分与PDMS空腔底座进行组装。该基于结构化空腔的水下柔性压力传感器的制作方法运用了柔性电子制造技术的先进成果，通过设计与构建柔性微空腔结构，实现了对静水压力影响的有效平衡与抵消，使得传感器能够在复杂的水下环境中，精准地检测出由水流扰动所产生的动压变化，从而为水下压力测量领域提供了一种全新的解决方案。