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多波段光学相控阵及制备方法
摘要
本公开提供一种多波段光学相控阵及制备方法,涉及光电技术领域。多波段光学相控阵包括:衬底;阵列波导单元,设置于衬底上,用于将输入的至少一个波长的光信号进行相位的调制,其中阵列波导单元的数量与输入的至少一个波长的光信号的数量相同,至少一个波长的光信号对应输入阵列波导单元中;光学天线,设置与阵列波导单元垂直连接,且光学天线与衬底分离,用于将接收的经相位调制的至少一个波长的光信号进行发射。
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本公开提供一种多波段光学相控阵及制备方法,涉及光电技术领域。多波段光学相控阵包括:衬底;阵列波导单元,设置于衬底上,用于将输入的至少一个波长的光信号进行相位的调制,其中阵列波导单元的数量与输入的至少一个波长的光信号的数量相同,至少一个波长的光信号对应输入阵列波导单元中;光学天线,设置与阵列波导单元垂直连接,且光学天线与衬底分离,用于将接收的经相位调制的至少一个波长的光信号进行发射。