在审

一种超导晶体管器件及其制备方法

周强、郇庆昌、范云茹、张孝富
天府绛溪实验室

摘要

本申请公开了一种超导晶体管器件及其制备方法,属于超导电子学领域,超导晶体管器件包括第一栅极和/或第二栅极、超导纳米线、第一电极和第二电极;其中,所述第一栅极和第二栅极分别位于所述超导纳米线的两侧,或者,所述第一栅极或第二栅极位于所述超导纳米线的侧边;所述超导纳米线的两端分别与所述第一电极和第二电极连接;所述第一栅极和/或第二栅极、第一电极和第二电极均用于与外部电极连接。本申请通过超导纳米线和栅极构建得到具备逻辑功能的超导晶体管器件,简化了超导逻辑电路的结构,提升了器件的集成度和扩展性,大大降低了制备难度和对磁屏蔽的要求,为超导集成电路的发展提供了新的技术路线。

暂无引用专利