有效

敏感材料、气敏元件、制备方法、传感器及检测方法

何毅、王志明、赵亮、赵继光、田兵、尹旭、张佳明、关志华、刘胜荣、刘仲、王鹤、聂少雄、骆柏锋、蔡国源
南方电网数字电网研究院股份有限公司

摘要

本发明公开了一种气敏元件敏感材料及其制备方法、石英晶体微天平气敏元件及其制备方法、二氧化碳传感器以及二氧化碳检测方法。本发明制备得到的石英晶体微天平气敏元件抗湿性好、制作工艺简单,结构简单、体积小、可集成,能够实现对二氧化碳的实时监测,监测灵敏度高、重现性良好。