NO传感器和空气开关柜空气放电实时监测方法

本发明公开了一种NO传感器和空气开关柜空气放电实时监测方法，该NO传感器的传感器阵列的构建具体包括：在硅衬底上沉积加热电极，作为加热层；且所述传感器阵列的顶部设置多个交指电极，用于测量多种材料的电阻。再在所述加热层上设置交指电极层，具体为电极之间的排列方式类似于手指交错的结构，交指电极层中的四个交指电极被用于测量不同材料的电阻。在所述硅衬底与所述加热层之间和所述加热层与交指电极层之间设置有添加SiN层作为绝缘层。该NO传感器的传感器阵列具有良好的选择性，可以检测250ppb的NO；并且该传感器对NO表现出良好的响应恢复特性；且通过CNN‑ALSTM模型进行估计，对浓度进行预测，预测结果较为准确。