一种高温电声脉冲法空间电荷测量装置及方法

本发明涉及空间电荷测量技术领域，公开了一种高温电声脉冲法空间电荷测量装置及方法，包括测量单元、上电极单元和下电极单元；所述测量单元包括接线装置和信号采集装置；所述上电极单元包括上电极、套设在所述上电极上的第一壳体和设置在所述第一壳体内部的加热装置；所述接线装置与所述上电极电连接；所述下电极单元包括下电极，所述下电极的下方与所述信号采集装置连接。本发明的上电极和下电极能够同时给样品上下表面加热，使样品迅速升温；下电极下方设置有水冷装置，保证压电传感器在安全工作温度工作。使用该高温下电声脉冲空间电荷测量装置，在测量高温下空间电荷特性时，能够样品均匀受热快速升温到所设定的温度。