1.一种基于双阳极热等离子体的六氟化硫转化装置,其特征在于:包括,通气组件(100),包括混气件(101)和控制件(102),所述控制件(102)设置于所述混气件(101)上;以及降解组件(200),包括反应件(201)和降解件(202),所述反应件(201)设置于所述混气件(101),所述降解件(202)设置于所述反应件(201)上;以及,降温排气组件(300),包括降温件(301)和尾气件(302),所述降温件(301)设置于所述反应件(201)上,所述尾气件(302)设置于所述反应件(201)上;所述混气件(101)包括第一气瓶(101a)和第二气瓶(101b),所述第一气瓶(101a)和第二气瓶(101b)连接的配气混气仪(101c),所述第一气瓶(101a)和第二气瓶(101b)水平设置,所述第一气瓶(101a)内有一定数量的SF 6 ,所述第二气瓶(101b)内有一定数量的惰性气体;所述反应件(201)包括所述配气混气仪(101c)上设置的热等离子体反应器(201a),所述热等离子体反应器(201a)内设置的引弧阳极(201b)和阴极管(201c);所述引弧阳极(201b)的数量有两个,两个所述引弧阳极(201b)中间设置有一个阴极管(201c)。
2.根据权利要求1所述的基于双阳极热等离子体的六氟化硫转化装置,其特征在于:所述控制件(102)包括所述第一气瓶(101a)上设置的第一电磁阀(102a),所述第二气瓶(101b)上设置的第二电磁阀(102b),所述配气混气仪(101c)上设置的第三电磁阀(102c)。
3.根据权利要求2所述的基于双阳极热等离子体的六氟化硫转化装置,其特征在于:所述降解件(202)包括连接于所述热等离子体反应器(201a)上的气泵(202a),所述气泵(202a)上连接的钨粉罐(202b)。
4.根据权利要求3所述的基于双阳极热等离子体的六氟化硫转化装置,其特征在于:所述降温件(301)包括连接于所述热等离子体反应器(201a)上的水冷机(301a)。
5.根据权利要求4所述的基于双阳极热等离子体的六氟化硫转化装置,其特征在于:所述尾气件(302)包括连接于所述热等离子体反应器(201a)上的降温机(302a),所述降温机(302a)上连接的浓度检测仪(302b),所述浓度检测仪(302b)上安装的尾气回收器(302c)。
6.一种基于双阳极热等离子体的六氟化硫转化装置及方法,其特征在于:包括如权利要求1~5任一所述的基于双阳极热等离子体的六氟化硫转化装置,包括以下步骤:通过电磁阀控制稀释比配置混合气体;将混合气体和钨粉通入反应器进行降解;利用水冷降温并实时监控SF 6 废气的降解效率。
7.根据权利要求6所述的基于双阳极热等离子体的六氟化硫转化装置及方法,其特征在于:利用反应器实现了低电流输入和高功率输出,扩大了等离子体区域,以此完成对SF 6 进行转化处理。