一种嵌套结构的光电混合集成延时装置

本发明公开一种嵌套结构的光电混合集成延时装置，包括一组由射频开关组成的电延时装置、以及一套嵌套在电延时装置内部的光延时装置，所述光延时装置包括依次连接的激光器、多个光开关和探测器。本发明将电延时和光延时完美结合，同时保证超短的起始延时量(0.1ns级)，和超长延时量(几十μs以上)，且保留了原有光电延时器切换速度快、延时步进任意可调、延时量任意可调、成本低廉、维护方便、可扩展性强、适应性好等优点，有着广泛的应用前景。