有效

二氧化锡气敏材料的制备方法、二氧化氮传感器及制备方法

何毅、王志明、赵亮、赵继光、田兵、尹旭、张佳明、关志华、刘胜荣、刘仲、王鹤、聂少雄、骆柏锋、蔡国源
南方电网数字电网研究院股份有限公司

摘要

本公开提供了一种二氧化锡气敏材料的制备方法、二氧化氮传感器及制备方法。该二氧化锡气敏材料的制备方法包括如下步骤:将二氧化锡纳米片置于等离子体腔室中,向所述等离子体腔室中通入含氮气体并生成含氮等离子体,通过所述含氮等离子体对所述二氧化锡纳米片进行表面处理,所述表面处理的持续时间为10s~1800s。该二氧化锡气敏材料的制备方法能够提高制备所得的二氧化锡气敏材料对于二氧化氮气体的响应值。