阵列传感单元及量子检测探头

本发明涉及量子传感技术领域，方案一种阵列传感单元及量子检测探头，其中，量子传感单元包含一透明基底、一入射口、反光介质以及滤光介质；本发明中的阵列传感单元能够实现宽场测量，获取缺陷区域的整体信息，同时阵列式的测量结构能够在纵向延伸测量范围，且每个探测区独立打光能够保证NV色心被充分照射；本发明中的量子检测探头使用了宽场相机、物镜与阵列传感单元适配的组合，能够对极小像素内的荧光进行区分探测，能够提高检测分辨率。