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基于生物高分子薄膜的阻变存储器制备方法

李颖、刘向阳、赵志明、徐雷、武焱旻、雷黎、严富学、任洋
西安理工大学

摘要

本发明公开了基于生物高分子薄膜的阻变存储器制备方法,具体按照以下步骤实施:步骤1,制备底电极;步骤2,使用提拉法在所述底电极上制备苹果胶高分子薄膜,作为功能层;步骤3,通过磁控溅射法在所述功能层上积淀一层Au作为顶电极,得到阻变存储器。该基于生物高分子薄膜的阻变存储器制备方法,解决了现有阻变存储器材料成本高、制备工艺复杂的问题。

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