有效

定焦及焦距测量装置及方法

高世杰、柴海洋、马烈、张国强
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
高世杰机构 暂无
技术领域 暂无
柴海洋机构 暂无
技术领域 暂无
马烈机构 暂无
技术领域 暂无
张国强机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及光学检测技术领域,尤其涉及一种定焦及焦距测量装置及方法,定焦及焦距测量装置包括:依次设置的准直器、光路延长系统、透镜和光束接收系统;光路延长系统包括:入射镜、光路延长镜组和出射镜;进行定焦时,准直器射出的高斯光束的光轴与透镜光轴重合,准直器射出的高斯光束经入射镜反射至光路延长镜组,高斯光束经光路延长镜组多次反射后入射至出射镜,并经出射镜反射至透镜,且出射镜射出的高斯光束的光轴与透镜光轴重合;高斯光束经过透镜在靶面上形成光斑;其中,调整入射镜对高斯光束进行反射的入射角,以调整高斯光束的物方束腰距离。本发明至少有利于优化空间利用率和减小测量系统的整体体积,提高了系统检测效率和精度。