有效

一种全铜互连的封装集成装置及制造方法

刘朝辉、闫海东、张亚昆、吴新科、师帅、盛况
北京国家新能源汽车技术创新中心有限公司

摘要

本发明公开一种全铜互连的封装集成装置及制造方法,包括:基板,包括依次接触的上铜层、陶瓷层、下铜层,上铜层包括功率回路区域、控制回路区域、电极组装区域,各个部分之间电绝缘;上桥功率MOS管,漏极面与上桥功率回路区域外表面贴合并与之电连接;下桥功率MOS管,漏极面与下桥功率回路区域外表面贴合并与之电连接,且通过第一铜夹与上桥功率MOS管的源极面电连接;散热器,设置于下铜层的外表面上;上桥功率MOS管和下桥功率MOS管的漏极面、源极面位于相对面。本发明采用铜夹互连降低了杂散电感,有利于散热和均温;MOS管的采用双面烧结铜层,极大降低电迁移;基板与散热器采用了大面积铜烧结连接,提高了可靠性,简化了工艺。