一种精密离心机转臂动态半径变化测量装置及方法

本申请公开了一种精密离心机转臂动态半径变化测量装置及方法，涉及精密离心机参数高精度检测技术领域。该装置的第一中空直角棱镜和第二中空直角棱镜分别设置于精密离心机转臂末端和转臂中段，第一中空直角棱镜与第三中空直角棱镜等光程，第二中空直角棱镜与第四中空直角棱镜等光程；第一中空直角棱镜形成的第一测量束与第三中空直角棱镜形成的第一参考束经分光棱镜后发生干涉，第二中空直角棱镜形成的第二测量束与第四中空直角棱镜形成的第二参考束经分光棱镜后发生干涉，产生两路干涉条纹；处理模块根据两路干涉条纹获得转臂半径变化量。本申请能够实现精密离心机转臂自身长度变化的精确测量。