基于导向自组装技术的图像传感器制造方法及制造系统

本发明提供一种基于导向自组装技术的图像传感器制造方法，其通过将导向自组装技术用于晶圆背面的深沟槽图形化工艺并且与光刻技术相结合，从而与传统的利用PTD或NTD光刻技术的深沟槽图形化工艺相比，能够突破光刻技术的分辨率极限，缩小像素间距，提高成本优势和像素密度，实现像素分辨率的大幅提升，并且还能改善像素的深沟槽隔离图形的边缘粗糙度，降低相邻像素间的信号串扰。