在审

氮化镓液体传感器

吴茂桢、刘付光杰、刘闯、吕永超、毛笛、邓迅杰、蒋敏仪、郭国伟、龙剑锋、卢梓漾、欧阳元、彭靓、吴思媛
广东电网有限责任公司

摘要

本发明提供了一种氮化镓液体传感器,包括:衬底;外延结构,设置在衬底的上方,外延结构包括缓冲层、沟道层以及势垒层,缓冲层、沟道层以及势垒层在远离衬底的方向上依次设置;吸收层,能够与液体结合,吸收层设置在外延结构的上方。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的检查设备箱内是否存在水珠凝结的效率较低的问题。

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