一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法

1.一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、通过激光加工的方法进行结构化砂轮制备；S2、对静电吸盘功能层表面进行多次离子注入形成多个改性区域；S3、通过结构化砂轮对多个改性区域进行选择性磨削去除，形成最终的陶瓷静电吸盘功能层表面凸台微结构；S4、对使用磨损的静电吸盘先进行最低磨损高度磨削，将静电吸盘功能层表面其余凸台微结构磨削至与最低点一致的高度，再重复上述步骤S2与S3，完成对磨损凸台微结构的翻新修复。 2.如权利要求1所述的一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法，其特征在于，步骤S2具体包括以下步骤：S21、对静电吸盘功能层表面没有改性要求的区域进行第一次贴敷掩膜，保护凸台微结构区域，形成第一道未改性区；S22、采用离子束对静电吸盘功能层表面第一道磨削加工中待去除的区域进行改性处理，形成第一改性区；S23、取下第一次贴敷的掩膜，将工件沿轴向旋转90°，对静电吸盘功能层表面没有改性要求的区域进行第二次贴敷掩膜，形成第二道未改性区；S24、再次用离子束对第二道磨削加工中待去除的材料区域进行表面改性。 3.如权利要求2所述的一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法，其特征在于，步骤S3具体包括以下步骤：S31、选择性磨削去除第一改性区：取下第二次贴敷的掩膜，使用结构化砂轮选择性地磨削去除掉第一道表面改性的区域；S32、选择性磨削去除第二改性区：将工件沿轴向旋转90°，再使用结构化砂轮选择性地磨削去除掉第二道表面改性的区域，完成两道表面改性区域的选择性磨削去除后，形成最终的陶瓷静电吸盘功能层表面凸台微结构。 4.如权利要求3所述的一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法，其特征在于，步骤S4中针对使用一段时间后发生凸台微结构磨损的静电吸盘，以磨损后最低点的凸台微结构高度为基准，采用未结构化的普通砂轮磨削表面微结构，将静电吸盘功能层表面其余凸台微结构磨削至与最低点一致的高度。 5.如权利要求4所述的一种静电吸盘规则表面凸台微结构的加工方法，其特征在于，步骤S1中通过静电吸盘功能层表面的凸台微结构特征反向求解结构化砂轮沟槽结构的几何尺寸、分布间距的参数，确保加工后的结构化砂轮能够与静电吸盘表面凸台微结构形成映射关系；在获得结构化砂轮的特征设计参数后，采用激光去除的方法对砂轮进行结构化加工，使用脉冲激光束在砂轮圆周面上修整出周向垂直的沟槽阵列结构，得到静电吸盘凸台加工所需的结构化砂轮。