一种YBCO纳米线的制备方法

本发明提供一种YBCO纳米线的制备方法，属于单光子探测技术领域。该方法先基于氯气辅助等离子耦合反应离子刻蚀对YBCO薄膜进行刻蚀制备形成纳米线，刻蚀结束后立即将样品置于高真空环境中进行退火，从而实现百纳米级YBCO纳米线低损伤加工，并且加工得到的YB CO薄膜仍具有超导性能。