复合结构氮化铝单晶复合衬底及其制备方法、紫外发光器件

本申请提供一种复合结构氮化铝单晶复合衬底及其制备方法、紫外发光器件，涉及复合材料领域。复合结构氮化铝单晶复合衬底包括：具有C轴取向的衬底、形成于衬底的表面的单晶氮化铝薄膜，以及形成于单晶氮化铝薄膜的表面的柱状晶氮化铝薄膜，其中单晶氮化铝薄膜的应力状态为压应力。复合结构氮化铝单晶复合衬底能够缓解单晶氮化铝薄膜中所具有的横向压应力结构，改善单晶氮化铝薄膜对于上层器件所施加的强压力，有利于后续紫外发光器件的制备。