有效

双载流子LDMOS器件及制造方法

赵东艳、吴波、刘芳、郭乾文、张睿、邓永峰
北京智芯微电子科技有限公司

摘要

本发明涉及半导体技术领域,提供一种双载流子LDMOS器件及制造方法。包括:衬底、埋氧化层、N型漂移区、正栅极、P型源区、P型漏区、P型体区、N型源区、N型漏区及背栅极,埋氧化层形成于衬底的上表面,P型源区的底部与N型漂移区及埋氧化层相接,P型漏区的底部与N型漂移区及埋氧化层相接,N型源区与P型体区相接,N型漏区与N型漂移区相接。P型源区、P型漏区、N型漂移区及背栅极组成PLDMOS结构,使N型漂移区的底部形成P型沟道;N型源区、N型漏区、N型漂移区、P型体区及正栅极组成NLDMOS结构,使P型体区的表面形成N型沟道。本发明同时利用P型沟道中空穴和N型沟道中电子的流动,降低器件的比导通电阻。