有效

双栅双沟道LDMOS器件及制造方法

赵东艳、刘芳、郭乾文、张睿、吴波、邓永峰
北京智芯微电子科技有限公司

摘要

本发明涉及半导体技术领域,提供一种双栅双沟道LDMOS器件及制造方法。所述LDMOS器件包括:衬底,形成于衬底上的掩埋层、漂移区、体区、源区和漏区,以及位于体区上表面的栅氧化层和第一栅极;体区与源区及漂移区相接,漂移区与源区及漏区相接,掩埋层位于漂移区的底部,掩埋层与器件本体外的第二栅极相连;体区与栅氧化层及第一栅极组成MOSFE结构,使得体区表面形成第一沟道;体区与漂移区、掩埋层及第二栅极组成JFET结构,使得漂移区表面形成第二沟道。本发明通过双导电沟道的方式,提高击穿电压同时降低器件的比导通电阻,该器件的结构简单,制造工艺复杂度较低且可与CMOS工艺集成。