1.一种双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,包括:衬底,形成于衬底上的掩埋层、漂移区、体区、源区和漏区,以及位于体区上表面的栅氧化层和第一栅极;所述体区与源区及漂移区相接,所述漂移区与源区及漏区相接,所述掩埋层位于漂移区的底部,所述掩埋层与器件本体外的第二栅极相连;所述体区与栅氧化层及第一栅极组成MOSFET结构,使得体区表面形成第一沟道;所述体区与漂移区、掩埋层及第二栅极组成JFET结构,使得漂移区表面形成第二沟道。
2.根据权利要求1所述的双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,所述掩埋层设有通孔,所述掩埋层通过所述通孔引出的连接金属与第二栅极相连。
3.根据权利要求2所述的双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,所述通孔形成于所述掩埋层的底部或侧面,所述连接金属的材料为导电金属材料。
4.根据权利要求1所述的双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,所述源区通过接触端与掩埋层相连,构成体二极管结构。
5.根据权利要求1所述的双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,所述第二栅极的偏置电压是可调节的,通过调节该偏置电压改变所述第二沟道的耗尽层宽度。
6.根据权利要求5所述的双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,在器件导通的工作状态时,所述第二栅极的偏置电压范围为0V至0.4V。
7.根据权利要求1所述的双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,所述漂移区延伸至体区的下方与掩埋层的顶面相接,所述掩埋层与体区之间的漂移区的深度为100 nm至300 nm。
8.根据权利要求1所述的双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,所述衬底为轻掺杂P型半导体衬底,所述体区为P型体区,所述漂移区为N型漂移区。
9.根据权利要求8所述的双栅双沟道LDMOS器件,其特征在于,所述掩埋层为P型重掺杂区域,掺杂浓度大于1×10 18 cm -3 ;所述P型体区为P型轻掺杂区域,掺杂浓度小于1×10 16 cm -3 ;所述N型漂移区为N型轻掺杂区域,掺杂浓度小于1×10 16 cm -3 。
10.一种双栅双沟道LDMOS器件的制造方法,其特征在于,包括:在衬底上形成外延层,在外延层的表面形成栅氧化层;在外延层的底部形成掩埋层,在外延层中形成与栅氧化层相接的体区;在外延层的表面形成漏区以及与体区相接的源区,外延层中除掩埋层、体区、源区和漏区以外的区域作为漂移区;在栅氧化层的表面形成第一栅极,第一栅极与栅氧化层和体区组成MOSFET结构;在掩埋层形成通孔,通过通孔引出连接金属,通过连接金属连接到器件本体外的第二栅极,第二栅极与掩埋层、体区和漂移区组成JFET结构。