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一种光电器件结构和光电器件漏电测试方法

张大勇、王啸、贾锐、李星、李永要、欧阳晓平
中国科学院微电子研究所

摘要

本发明公开一种光电器件结构和光电器件漏电测试方法,涉及半导体光电技术领域,以解决现有技术中半导体光电器件漏电的解决效率低的问题。光电器衬底,所述衬底包括衬底正面和衬底背面;形成于所述衬底正面的有源区;形成于所述衬底背面的中心区域;以及设置于所述有源区周围的至少一个第一保护环;所述第一保护环的掺杂类型与所述有源区的掺杂类型相同或者相反;光电器件漏电测试方法包括,获取光电器件结构的基础数据;所述基础数据至少包括所述光电器件结构的结构类型信息;基于所述基础数据对所述光电器件结构进行分类,得到不同类型的光电器件;对不同类型的光电器件进行测试,得到不同类型的光电器件在预设电压范围内的漏电流数据。

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