一种硅基异质集成钙钛矿X射线探测器及其制备方法

本发明涉及一种硅基异质集成钙钛矿X射线探测器及其制备方法，属于X射线探测器技术领域，解决了现有技术中钙钛矿X射线探测器暗/漏电流较高、载流子输运和收集慢、器件难以图案化、阵列化、像素化的问题中的至少一个。本发明公开了一种钙钛矿X射线探测器，所述钙钛矿X射线探测器包括依次层叠的正面电极、空穴或电子传输层、钙钛矿层、正面隧穿氧化层、N型硅片、背面隧穿氧化层、磷或硼掺杂多晶硅层、背面电极。本发明所提供的硅基异质集成钙钛矿X射线探测器具有漏电流低、灵敏度和光暗比高的特性，暗/漏电流在50V偏压下低至2.5×10<Sup>‑9</Sup>A/cm<Sup>2</Sup>、光暗比达72、灵敏度可达35.5μC Gy<Sup>‑1</Sup>cm<Sup>‑2</Sup>，并且在图案化、阵列化、像素化等新型钙钛矿X射线探测器领域具有巨大的应用潜力。