一种基于半监督学习的混合集成电路组件缺陷检测方法

本发明涉及一种基于半监督学习的混合集成电路组件缺陷检测方法，属于混合集成电路技术领域，解决现有技术中的方法检测精度不够高，效率较低，鲁棒性较差、泛化能力不好的技术问题。该方法包括以下步骤：图像采集，切图筛选，数据集制作，网络模型构建，网络模型训练以及网络模型检测。本发明的基于半监督学习的混合集成电路组件缺陷检测方法，以混合集成电路的组件相关缺陷检测为目标，采用基于半监督学习的目标检测技术，有效提升了混合集成电路组件相关缺陷检测的准确性、及时性和检测的效率，提高了混合集成电路的品质和生产效率，为实际工程应用提供一定程度的指导价值。