有效

一种衍射光波导的重影判断方法

胡雪蕾、张雅琴、楼歆晔
上海鲲游科技有限公司
胡雪蕾机构 暂无
技术领域 暂无
张雅琴机构 暂无
技术领域 暂无
楼歆晔机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明提供了一种衍射光波导的重影判断方法,通过获取图像的灰度分布图,首先根据灰度分布图的峰值数量,判断显示图像属于重影的哪种类型;并进一步根据预设的参考基准P,判断滤除背景灰度值后的实测线宽与P之间的关系,判断是否存在重影;当存在重影时,并进一步结合分布曲线的对称性来判断重影像是否与原像叠加使原像的宽度变宽;同步根据不对称时两侧曲线的拟合直线斜率的大小关系,判断图像是否存在拖尾,或严重拖尾的情况,进而筛选出能够被接受的合格波导产品,本方法能提高产品缺陷的检出率和提高产品的良率。