1.一种多晶硅尾气处理的过滤系统，其特征在于，包括还原炉、第一换热器、第三换热器、冷却换热系统、吸收塔、解析塔、液相过滤器和氯硅烷液体罐，所述还原炉的尾气出口与所述第一换热器的壳程进口相连，所述第一换热器的壳程出口与所述冷却换热系统的尾气进口相连，所述冷却换热系统的气相出口与所述吸收塔的废气进口相连，所述冷却换热系统的液相出口与所述第一换热器的管程进口相连通，所述第一换热器的管程出口与所述解析塔的富液进口相连，所述吸收塔的冷氢出口与所述冷却换热系统的冷媒进口相连，所述吸收塔的富液出口与所述第三换热器的壳程进口相连，所述第三换热器的壳程出口与所述第一换热器的管程进口相连通，所述解析塔的贫液出口与所述第三换热器的管程进口相连通，所述第三换热器的管程出口与所述吸收塔的贫液进口相连，所述第三换热器的管程进口与所述液相过滤器的过滤进口相连，所述液相过滤器的过滤出口与所述氯硅烷液体罐相连。
2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气处理的过滤系统，其特征在于，还包括第二换热器，所述冷却换热系统的液相出口与所述第二换热器的壳程进口相连，所述第二换热器的壳程出口与所述第一换热器的管程进口相连，所述第三换热器的壳程出口与所述第二换热器的壳程进口相连，所述解析塔的贫液出口与所述第二换热器的管程进口相连，所述第二换热器的管程出口与所述第三换热器的管程进口相连，所述第二换热器的管程出口与所述液相过滤器的过滤进口相连。
3.根据权利要求1所述的多晶硅尾气处理的过滤系统，其特征在于，所述冷却换热系统包括一级换热器和二级换热器，所述第一换热器的壳程出口与所述一级换热器的壳程进口相连，所述一级换热器的气相出口与所述二级换热器的壳程进口相连，所述二级换热器的气相出口与所述吸收塔的废气进口相连，所述一级换热器和所述二级换热器的液相出口均与所述第一换热器的管程进口相连通，所述吸收塔的冷氢出口与所述二级换热器管程进口相连，所述二级换热器管程出口与所述一级换热器的管程进口相连，所述一级换热器的管程出口连接有氢气回收管道。
4.根据权利要求3所述的多晶硅尾气处理的过滤系统，其特征在于，所述冷却换热系统还包括初级换热器和压缩机，所述初级换热器为空气冷却器，所述第一换热器的壳程出口与所述初级换热器的壳程进口相连，所述初级换热器的气相出口与所述压缩机的进口相连，所述压缩机的出口与所述一级换热器的壳程进口相连，所述初级换热器的液相出口与所述第一换热器的管程进口相连通。
5.根据权利要求1所述的多晶硅尾气处理的过滤系统，其特征在于，还包括氢气换热器和TCS换热器，所述还原炉的尾气出口分别与所述氢气换热器和所述TCS换热器的壳程进口相连，所述氢气换热器和所述TCS换热器的壳程出口均与所述第一换热器的壳程进口相连，所述氢气换热器和所述TCS换热器的管程出口均与所述还原炉原料进口相连。
6.根据权利要求5所述的多晶硅尾气处理的过滤系统，其特征在于，还包括硅粉除尘装置，所述还原炉的尾气出口与所述硅粉除尘装置的进口相连，所述硅粉除尘装置的出口分别与所述氢气换热器和所述TCS换热器的壳程进口相连。
