有效

具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构

蒋书杭、欧阳名钊、杨杰、李佳昕、寇珊珊、付跃刚
长春理工大学

摘要

本发明涉及一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,属于微纳光学技术领域,解决了目前存在的短波长谱带过宽所带来光学结构高深宽比的加工难度大、短波长激光复合性能差等问题,该结构包括沿入射光方向依次设置的蓝宝石基底、初层圆台结构透射光栅、二氧化硅膜层和次层圆台结构透射光栅,该结构通过应用类蛾眼圆台结构来实现宽谱段宽角度的减反增透,从而提升微结构加工性能;初层圆台结构透射光栅将入射光以不同的角度分散,分散后的光束通过二氧化硅膜层后照射在次层圆台结构透射光栅表面,光栅将光线重新耦合产生复合光束。该结构对衍射光有强抑制效果,使入射光集中于主级次,实现短波长多波段激光的高效复合。