1.一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,包括沿入射光方向依次设置的蓝宝石基底(1)、初层圆台结构透射光栅(2)、二氧化硅膜层(3)和次层圆台结构透射光栅(4),所述初层圆台结构透射光栅(2)和所述次层圆台结构透射光栅(4)均包括在光栅表面周期排列的圆台状微纳米结构;所述初层圆台结构透射光栅(2)和所述次层圆台结构透射光栅(4)的圆台状微纳米结构中的单个圆台位置对称地分布在所述二氧化硅膜层(3)的两侧,且单个圆台的顶端直径小于底端直径,所述圆台状微纳米结构的周期参数根据所需透射光波长数值与蓝宝石基底(1)的折射率数值之差进行设定,高度参数根据所需透射光波长数值的二分之一进行设定;入射光透过所述蓝宝石基底(1)进入光栅结构,所述初层圆台结构透射光栅(2)将入射光以不同的角度分散,分散后的光束通过所述二氧化硅膜层(3)后照射在所述次层圆台结构透射光栅(4)表面,所述次层圆台结构透射光栅(4)将光线重新耦合产生复合光束。
2.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,单个圆台的侧表面母线与所述二氧化硅膜层(3)之间的角度大于等于75°,圆台上表面的顶端直径小于等于圆台的底端直径的二分之一,且圆台的高度大于底端直径绝对值。
3.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,单个圆台的内定义面积为2μm*2μm。
4.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,所述初层圆台结构透射光栅(2)中圆台的高度为2.4185μm,圆台顶端直径为1.6359μm,圆台底端直径为1.9978μm。
5.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,所述次层圆台结构透射光栅(4)中圆台的高度为3μm,圆台顶端直径为1.6398μm,圆台底端直径为1.6959μm。
6.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,所述蓝宝石基底(1)的厚度为5μm~10μm。
7.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,所述二氧化硅膜层(3)的厚度为10μm~15μm。
8.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,所述复合光束的波长范围为248nm~3.7μm。
9.根据权利要求1所述的一种具有宽谱段宽角度衍射抑制效果的双层二维光栅结构,其特征在于,采用纳米压印加工方法或者等离子刻蚀工艺在硅表面制造圆台状微纳米结构。