一种超光滑光学元件表面特性参数预测方法

本发明公开了一种超光滑光学元件表面特性参数预测方法，包括以下步骤：步骤1，基于MBK模型，通过对比HS模型和MBK模型，建立GBK标量散射模型；步骤2，基于GBK标量散射模型，建立超光滑和光滑光学元件在同一入射角度下表面粗糙度及自相关长度与散射率之间的关系式；步骤3，基于两个不同的入射角度，分别测得对应入射角度下的散射率，通过表面粗糙度及自相关长度与散射率之间的关系式，获得不同的两个入射角度下表面粗糙度和自相关长度的集合曲线，两条曲线的交点即为待测光学元件的表面粗糙度和自相关长度。本发明适用于超光滑和光滑光学元件的表面粗糙度和自相关长度的快速预测，具有预测精度高和预测效率高的特点。