一种气体状态多参量检测传感器及其自校准方法

1.一种气体状态多参量检测传感器，其特征在于，包括：测试件，所述测试件内具有测试腔室，所述测试件上具有与所述测试腔室连通的本体接口，所述本体接口用于与被测设备连接，以使得被测设备内的气体进入至所述测试腔室内；多参量感知机构，与所述测试件连接，包括伸入至所述测试腔室内的多参量感知单元和与所述多参量感知单元电连接的控制器；校准机构，与所述测试件连接，并且与所述多参量感知机构相对设置，所述校准机构具有伸入至所述测试腔室内的阀杆，所述阀杆朝向所述多参量感知单元的一端具有可容纳所述多参量感知单元的容纳腔；加热机构，设置在所述测试腔室内，所述加热机构与所述控制器电连接，用于对所述容纳腔进行加热；其中，所述多参量感知单元包括微水感知单元、压力感知单元、温度感知单元，所述阀杆被配置为在进行校准时在外力驱动下朝向所述多参量感知单元移动，使得所述容纳腔与所述多参量感知单元所在的侧壁形成密封腔室停止，所述加热机构处于形成的密封腔室内，用于与所述控制器配合进行所述微水感知单元的零点校准；所述测试腔室内还具有容纳室，所述容纳室与所述多参量感知单元相对设置，所述阀杆在初始位置时，所述容纳腔处于所述容纳室内；所述加热机构包括固定在所述多参量感知单元上的感应线圈以及固定在所述容纳腔内的感应加热件，所述感应加热件与所述感应线圈相对设置，当所述阀杆朝向所述多参量感知单元移动行程密封腔室时，所述感应加热件插入至所述感应线圈内；所述容纳室的侧壁上还通过铰簧转动连接有自封门板，所述自封门板用于所述容纳腔的自封闭，当所述阀杆朝向所述多参量感知单元移动时，所述自封门板被顶开，当所述阀杆缩回时，所述自封门板关闭。 2.根据权利要求1所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述容纳腔的顶部还具有密封圈。 3.根据权利要求2所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述测试腔室上还具有环形凸起，所述环形凸起将所述多参量感知单元所在区域包围，并且与所述密封圈相对设置。 4.根据权利要求1所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述测试件中所述测试腔室与所述本体接口相对的一端还具有补气接口。 5.根据权利要求4所述的气体状态多参量检测传感器，其特征在于，所述补气接口上具有自封阀。 6.一种根据权利要求1至5中任一项权利要求所述的气体状态多参量检测传感器的微水零点校准方法，其特征在于，包括以下步骤：在初始状态下，对容纳腔内的水汽分压进行标定，并拟合出不同温度下所述容纳腔内的水汽分压函数E h （T）；在每次使用气体状态多参量检测传感器时，利用所述水汽分压函数E h （T）进行微水感知单元的零点校准，所述零点校准包括以下步骤：驱动阀杆朝向多参量感知单元移动，使得容纳腔与测试腔室内壁贴合形成密封腔室；获取当前密封腔室内的温度值T1和湿度值RH1，根据水汽分压函数水汽分压函数E h （T）计算处当前温度下的水汽分压E h1 ，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压E w1 ，根据公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RH zero1 ，其中：式(1)中RH Sensor 是MEMS微水感知单元测量值，RH zero 是微水感知单元零点值，RH w 是相对湿度公式计算值；式(2)中E h 是水汽气压，E w 是同温度下饱和水汽压；启动加热机构，加热密封腔室内气体的温度T2至T2=（T1+10）℃，停止加热机构的加热，读取密封腔室内此时的湿度值RH2，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压E w1 ，根据所述公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RH zero2 ；继续启动加热机构，加热密封腔室内气体的温度T3至T3=（T2+10）℃，停止加热机构的加热，读取密封腔室内此时的湿度值RH3，利用Goff-Gratch饱和水汽压方程或Wexler-Greenspan水汽压方程计算出当前温度下的饱和水汽压E w1 ，根据所述公式（1）和公式（2）计算微水感知单元当前温度下的零点值RH zero3 ；比较RH zero1 、RH zero2 和RH zero3 ，选择其中最小值作为当前微水感知单元的零点值。