一种等离子体电极垂直外腔面发射激光器及其使用方法

本发明涉及一种等离子体电极垂直外腔面发射激光器及其使用方法，属于半导体激光器技术领域，等离子体电极垂直外腔面发射激光器依次包括面电极、衬底、DBR、有源区、等离子体电极以及外腔镜，所述等离子体电极以气体放电产生的低温等离子体作为电极，且所述等离子体电极位于垂直外腔面发射激光器的出光侧，所述外腔镜对应出光侧设置，本发明中低温等离子体对激光的透过率接近百分之百，具有较高的损伤阈值，可承受高功率高能量激光输出，出光侧的整个通光口径内均有等离子体电极覆盖，电流分布几乎一致，无电流拥挤效应，有源区内的注入电流分布均匀，可输出较高质量的激光光束，同时，等离子体电极可以扩散至任意口径，可实现大口径VECSEL。