一种基于光场衍射迭代的球面元件面形重构系统及方法

本发明公开了一种基于光场衍射迭代的球面元件面形重构系统及方法，涉及光学检测技术领域中的球面元件面形的检测，其目的在于解决现有技术中存在的球面元件面形重构时需要参考平面的面形测量方法，致使测量成本高、测量效率低的技术问题。激光经分光镜后分成两路，一路透射光被光陷吸收以避免形成杂散光，另一路反射光经待测球面镜后最终被CCD相机记录衍射光斑图，采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现球面类元件面形重构，得到含有待测球面镜误差的面型畸变、不含有待测球面镜误差的面型畸变，最终得到待测球面镜的面形误差，整个过程不需要参考平面的面形测量方法，测量成本较低、测量效率更高，具有很大应用前景。