红外探测薄膜异质谐振器、制备及红外探测阵列

本发明提供一种红外探测薄膜异质谐振器、制备及红外探测阵列，其目的在于通过微纳加工技术制备红外探测薄膜异质谐振器的红外探测阵列，二维红外吸收材料层将自身所吸收的外部红外辐射转变成热量，从而引起红外探测薄膜异质谐振器的谐振频率发生偏移，通过检测红外探测薄膜异质谐振器实时的频率偏移，便可实现红外探测。本发明利用谐振器的高品质因子和快速响应特性实现高灵敏红外探测，具有结构简单、尺寸小、使用成本低、易大规模扩展的优势，为红外探测提供新的设计思路。