有效

半导体氧化物材料、O传感器、制备方法及应用

樊小鹏、李鹏、何毅、田兵、李立浧、王志明、徐振恒、谭则杰、刘胜荣、韦杰
南方电网数字电网研究院股份有限公司

摘要

本申请涉及一种半导体氧化物材料、O<Sub>3</Sub>传感器、制备方法及应用。该制备方法包括以下步骤:制备包括铟离子和水的前驱体A溶液;其中,前驱体A溶液还包括螯合剂和pH调节剂;将掺杂离子溶液与前驱体A溶液混合,制备得到前驱体混合溶液;其中,掺杂离子溶液含有掺杂离子和水,掺杂离子包括三价铁离子、四价锡离子和五价锑离子中的一种或多种;将前驱体混合溶液于120℃~150℃进行水热反应,进行包括固液分离、水洗和醇洗的步骤,干燥,制备得到中间体固态物;将中间体固态物于380℃~420℃进行煅烧处理,制备得到半导体氧化物材料。该制备方法操作简单、成本低廉,且过程仅使用去离子水和无水乙醇作为溶剂,环保无污染。