有效

一种ESD器件防护性能表征方法、装置、设备和介质

郑亦菲、吴建飞、陈乐东、刘培国、王宏义、郑黎明
中国人民解放军国防科技大学

摘要

本申请属于集成电路静电防护技术领域,涉及一种ESD器件防护性能表征方法、装置、设备和介质。方法包括:获取ESD器件的数据参数,构建ESD器件的仿真结构;在仿真结构的两端添加大电压脉冲,使ESD器件发生雪崩击穿,然后在仿真结构中加入散粒噪声模型,得到仿真模型;对仿真模型进行静态直流仿真,提取散粒噪声参量;根据散粒噪声参量,提取散粒噪声特性,并表征ESD器件的防护性能;提取散粒噪声特性,并表征ESD器件的防护性能包括:提取散粒噪声特性,散粒噪声越低,ESD器件的失效电流越大,则ESD器件的保护性能就越好。本申请能够不通过电流‑电压特性的仿真来表征ESD器件的防护性能。

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