1.一种ESD器件防护性能表征方法,其特征在于,包括:获取ESD器件的数据参数,并构建ESD器件的仿真结构;ESD器件的数据参数包括:结构数据以及电学特性数据;在所述仿真结构的两端添加大电压脉冲,以使所述ESD器件发生雪崩击穿;在所述ESD器件发生雪崩击穿后,在所述仿真结构中加入散粒噪声模型,得到仿真模型;对所述仿真模型进行静态直流仿真,并提取散粒噪声参量;对所述仿真模型进行静态直流仿真,并提取散粒噪声参量包括:对所述仿真模型进行静态直流仿真,并采用参量提取模型指定需要噪声谱密度的ESD器件节点,以提取散粒噪声参量;根据所述散粒噪声参量,提取散粒噪声特性,并表征ESD器件的防护性能。
2.根据权利要求1所述的ESD器件防护性能表征方法,其特征在于,提取散粒噪声特性,并表征ESD器件的防护性能包括:提取散粒噪声特性,散粒噪声越低, ESD器件的失效电流越大,则ESD器件的保护性能就越好。
3.根据权利要求1或2所述的ESD器件防护性能表征方法,其特征在于,ESD器件的数据参数包括:结构数据;所述结构数据包括:ESD器件的结构参数、尺寸参数以及掺杂要求;所述结构参数包括定义ESD器件的电极区域和导线区域,并定义每个区域的坐标和名称;所述尺寸参数包括根据ESD器件的尺寸参数构造ESD器件的结构;所述掺杂要求包括根据所述坐标对不同区域进行工艺掺杂设置,并按照工艺掺杂设置相应浓度的材料。
4.根据权利要求3所述的ESD器件防护性能表征方法,其特征在于,ESD器件的数据参数还包括:电学特性数据;所述电学特性数据包括:设置电极的初始数据,所述初始数据包括名称、电阻、电压以及功函数;设置仿真需要的物理模型,所述物理模型包括载流子运动模型、雪崩模型、产生-复合模型以及带隙变窄模型;设置输出的参数类型,所述参数类型包括电流密度分布、晶格温度、碰撞电离以及电场强度分布;设置ESD器件的数值计算方法以及精确度;设置数值计算所需要的各项参数。
5.根据权利要求1或2所述的ESD器件防护性能表征方法,其特征在于,在构建ESD器件的仿真结构后还包括:对所述仿真结构进行优化处理;所述优化处理包括:对ESD器件的仿真结构的每个区域进行不同密度的网格剖分,并在ESD器件中PN结的反向偏置处进行网格加密。
6.根据权利要求5所述的ESD器件防护性能表征方法,其特征在于,所述优化处理还包括:调整ESD器件中的注入层,以避免出现尖峰和/或直角。
7.一种ESD器件防护性能表征方法装置,其特征在于,包括:建模模块,用于获取ESD器件的数据参数,并构建ESD器件的仿真结构;ESD器件的数据参数包括:结构数据以及电学特性数据;击穿模块,用于在所述仿真结构的两端添加大电压脉冲,以使所述ESD器件发生雪崩击穿;仿真模块,用于在所述ESD器件发生雪崩击穿后,在所述仿真结构中加入散粒噪声模型,得到仿真模型;对所述仿真模型进行静态直流仿真,并提取散粒噪声参量;对所述仿真模型进行静态直流仿真,并提取散粒噪声参量包括:对所述仿真模型进行静态直流仿真,并采用参量提取模型指定需要噪声谱密度的ESD器件节点,以提取散粒噪声参量;表征模块,用于根据所述散粒噪声参量,提取散粒噪声特性,并表征ESD器件的防护性能。
8.一种计算机设备,包括存储器和处理器,所述存储器存储有计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至6中任一项所述方法的步骤。
9.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。