一种用于AR衍射光波导的激光加工工艺及系统

本发明提供一种用于AR衍射光波导的激光加工工艺及系统，所述工艺包括：对波导基板进行激光剥离工艺，得到第一波导基板；对所述第一波导基板进行激光切割工艺，得到第二波导基板；对所述第二波导基板进行激光裂片工艺，得到对应的波导产品。激光加工工艺先对波导基板在激光切割以及裂片位置进行激光剥离工艺，将波导基板在激光切割以及裂片位置的膜层或者胶层剥离掉，从而在后续对波导基板进行激光切割和裂片操作的过程中，不会造成波导基板的激光切割轨迹以及激光裂片轨迹边缘的产品胶层以及膜层等发生龟裂、收缩以及异色等不良情况，大大提高波导产品的合格率。