检查设备、检查方法和检查系统

本发明提供了一种检查设备及其检查方法、检查系统。检查设备包括透射成像装置，配置成构建被检查对象的透射图像；和衍射检测装置，配置成检测被检查对象的至少一部分的特性。透射成像装置限定检查通道。衍射检测装置能够移动至特定位置检测被检查对象的至少一部分衍射的辐射。