检查设备、检查方法以及检查系统

本发明提供了一种检查设备、检查方法以及检查系统。检查设备包括：移动框架；透射成像装置，安装在移动框架上，限定沿第一方向延伸的检查通道，配置成能够构建位于检查通道上的被检查对象的透射图像；衍射检测装置，安装在移动框架上，配置成能够检测被检查对象的至少一部分的特性；其中移动框架能够承载透射成像装置和衍射检测装置沿第一方向移动。