一种安全高效的铌及射频超导腔的等离子电解抛光方法

本发明公开了一种安全高效的铌及射频超导腔的等离子电解抛光方法。所述等离子电解抛光方法包括如下步骤：S1、将铌或射频超导腔进行前处理；S2、配制等离子电解抛光液；等离子电解抛光液由基础电解质和功能电解质组成；S3、将铌或射频超导腔浸泡于等离子电解抛光液中，以铌或射频超导腔作为阳极，不锈钢作为阴极，采用高频直流电源对铌或射频超导腔进行等离子电解抛光处理。本发明摒弃使用氢氟酸、硫酸、硝酸等强挥发性及强腐蚀性酸液，同时将抛光速率提升多个数量级，极大减少了抛光时间，提升了抛光效率，具有较高的实用价值。