有效
一种适用于MEMS微装药的碳基叠氮化物薄膜及其制备方法
杨
杨利机构 暂无
王
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佟
佟文超机构 暂无
韩
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马
马小霞机构 暂无
摘要
本发明公开了一种适用于MEMS微装药的碳基叠氮化物薄膜及其制备方法，属于含能材料技术领域。该类叠氮化物薄膜是采用静电纺丝和热压联用技术制备得到的，首先通过静电纺丝技术得到含有金属盐的薄膜材料，然后通过热压法快速得到负载有金属粒子的碳基薄膜，再利用原位叠氮化得到最终的叠氮化物薄膜。本发明得到的碳基叠氮化物薄膜制备过程简单、快速、可批量化生产，且与传统叠氮化物相比，具有较佳的感度性能，这主要得益于薄膜中的碳骨架结构发挥出优良的导热、导电性能，并可均匀负载叠氮化物所需的金属粒子。最重要的是所制备的样品能够始终保持薄膜形态，易被后期加工和功能化，在保证安全性的同时，能够适用于第四代火工品的MEMS微装药工艺。
