1.一种三维扫描位移平台，其特征在于，包括静电驱动式的面内二维定位平台、压电致动组件和固定边框，所述压电致动组件包括偶数个压电致动单元，所述压电致动单元通过在硅基底上设置压电薄膜片形成，各个所述压电致动单元的一端连接在所述面内二维定位平台的外边缘处，另一端连接在所述固定边框的内边缘处，且偶数个所述压电致动单元以所述面内二维定位平台在第一方向和/或第二方向的中心线对称设置，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。
2.根据权利要求1所述的三维扫描位移平台，其特征在于，所述压电致动单元包括一个压电致动器或多个相互连接的压电致动器，所述压电致动器上设有运动端和固定端，其中，每个所述压电致动单元中的最内侧的所述压电致动器的运动端连接在所述面内二维定位平台的外边缘处，且每个所述压电致动单元中的最外侧的所述压电致动器的固定端连接在所述固定边框的内边缘处。
3.根据权利要求2所述的三维扫描位移平台，其特征在于，所述压电致动器包括器件层、氧化层和压电层，所述氧化层设置于所述器件层和所述压电层之间以用于电气隔绝所述器件层和所述压电层，其中所述器件层采用单晶硅，所述压电层包括设有至少一块压电薄膜片，各块所述压电薄膜片相互隔开设置，且每块所述压电薄膜片分别设有上电极和下电极。
4.根据权利要求3所述的三维扫描位移平台，其特征在于，所述压电层包括2N块压电薄膜片，其中2N块压电薄膜片等分为N组，各组中的两块压电薄膜片均沿同一方向排列设置，N为正整数。
5.根据权利要求3所述的三维扫描位移平台，其特征在于，所述压电层包括两块压电薄膜片，所述器件层为“一”字形结构，两块所述压电薄膜片沿“一”字形的长度方向排列设置，其中所述运动端和所述固定端设置于“一”字形同一端的两侧处。
6.根据权利要求3所述的三维扫描位移平台，其特征在于，所述压电层包括四块压电薄膜片，所述器件层为U形结构，四块所述压电薄膜片两两分别设置于U形结构的两侧边上，且设置于U形结构同一侧边的两块所述压电薄膜片沿着平行于U形结构两侧边的方向排列设置，其中，所述运动端和所述固定端分别位于U形结构的两端头处。
7.根据权利要求3所述的三维扫描位移平台，其特征在于，所述压电层包括八块压电薄膜片，所述器件层由两个对称连接的U形结构组成以形成“口”字形，其中每个U形结构上分别设置四块所述压电薄膜片，四块所述压电薄膜片两两分别设置于U形结构的两侧边上，且设置于U形结构同一侧边的两块所述压电薄膜片沿着平行于U形结构两侧边的方向排列设置，其中，所述运动端和所述固定端分别位于两个U形结构相连接的两端头处。
8.根据权利要求1所述的三维扫描位移平台，其特征在于，所述面内二维定位平台的外框呈矩形结构，在矩形结构的四条边处或者相对的两条边处分别连接有至少一个压电致动单元，且各条边上连接的至少一个所述压电致动单元对称设置。
9.根据权利要求8所述的三维扫描位移平台，其特征在于，在矩形结构的每条边处分别连接有一个压电致动单元，各条边上的所述压电致动单元分别连接在各条边的中点处。
10.根据权利要求1至9任一项所述的三维扫描位移平台，其特征在于，所述面内二维定位平台包括外框、内框、位移台、第一弹性单元、第二弹性单元、第一梳齿单元和第二梳齿单元，其中所述外框通过第一弹性单元对所述内框进行支撑以使得所述外框能够对所述内框沿第一方向进行驱动，所述内框通过第二弹性单元对所述位移台进行支撑以使得所述内框能够对所述位移台沿第二方向进行驱动，所述第一梳齿单元的固定梳齿部固定连接在所述外框上，所述第一梳齿单元的可动梳齿部固定连接在所述内框上，所述第二梳齿单元的固定梳齿部固定连接在所述内框上，所述第二梳齿单元的可动梳齿部固定连接在所述位移台上。
