有效

检查设备和检查系统

陈志强、张丽、李元景、黄清萍、冯博、张立国、李桂培、洪明志
清华大学
陈志强机构 暂无
技术领域 暂无
张丽机构 暂无
技术领域 暂无
李元景机构 暂无
技术领域 暂无
黄清萍机构 暂无
技术领域 暂无
冯博机构 暂无
技术领域 暂无
张立国机构 暂无
技术领域 暂无
李桂培机构 暂无
技术领域 暂无
洪明志机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本实用新型提供了一种检查设备和检查系统。检查设备包括透射成像装置,配置成构建被检查对象的透射图像;和衍射检测装置,配置成检测被检查对象的至少一部分的特性。透射成像装置限定检查通道。检查设备包括直线形轨道,沿横向跨检查通道。衍射检测装置能够沿直线形轨道移动至特定位置检测被检查对象的至少一部分衍射的辐射。

暂无引用专利