有效

反馈回路调节光源位置的装置

赵宇暄、李言蹊、冒新宇
北京至格科技有限公司

摘要

本实用新型属于全息光栅的干涉曝光系统技术领域,尤其是反馈回路调节光源位置的装置,包括沿光路设置的光源、反射镜组件、扩束组件、检测组件、以及设于扩束组件中的第一针孔滤波器、与反射镜组件相连的调整组件,所述反射镜组件包括第一反射镜和第二反射镜,所述扩束组件包括第一透镜组和第二透镜组,所述第一透镜组和所述第二透镜组的光轴同轴且焦点重叠。本实用新型在现有技术的干涉曝光系统中引入反馈调节,无需对现有的干涉曝光系统做出较大的结构性调整,实现了以较小的成本改善系统的精度,并且,利用反馈调节,实现较高精度的调整,有利于提高系统的自动化程度,从而提升生产效率并节约工时。

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