1.反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,包括沿光路设置的光源(1)、反射镜组件(2)、扩束组件(3)、检测组件(4)、以及设于扩束组件(3)中的第一针孔滤波器(5)、与反射镜组件(2)相连的调整组件(6),所述反射镜组件(2)包括第一反射镜(2A)和第二反射镜(2B),所述扩束组件(3)包括第一透镜组(3A)和第二透镜组(3B),所述第一透镜组(3A)和所述第二透镜组(3B)的光轴同轴且焦点重叠,所述第一针孔滤波器(5)设于第一透镜组(3A)和第二透镜组(3B)的焦点重叠处,所述检测组件(4)包括多个检测单元,多个所述检测单元在同一平面且该平面与扩束组件(3)的光轴垂直,且位于中央的检测单元位于扩束组件(3)的光轴上。
2.根据权利要求1所述的反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,多个所述检测单元包括第一检测单元(4A)、第二检测单元(4B)、第三检测单元(4C)、第四检测单元(4D)和第五检测单元(4E),所述第二检测单元(4B)、第三检测单元(4C)、第四检测单元(4D)和第五检测单元(4E)阵列排布,所述第一检测单元(4A)位于中央。
3.根据权利要求1所述的反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,所述第一反射镜(2A)与光源(1)相对应设置,所述第二反射镜(2B)与第一透镜组(3A)相对应设置。
4.根据权利要求1所述的反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,所述调整组件(6)包括第一调整单元(6A)和第二调整单元(6B),第一调整单元(6A)和第二调整单元(6B)分别设置在第一反射镜(2A)和第二反射镜(2B)上。
5.根据权利要求4所述的反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,所述第一调整单元(6A)和第二调整单元(6B)包括伺服电机,且第一调整单元(6A)和第二调整单元(6B)的伺服电机输出端分别与第一反射镜(2A)和第二反射镜(2B)相连接。
6.根据权利要求1所述的反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,所述反馈回路调节光源位置的装置还包括:设于所述第一反射镜(2A)之前偏振分光棱镜(2C),第三反射镜(2D),第三透镜组(3C)和第四透镜组(3D),第二针孔滤波器(5A);其中,所述第三透镜组(3C)和所述第四透镜组(3D)的光轴同轴且焦点重叠,所述第二针孔滤波器(5A)设于第三透镜组(3C)和第四透镜组(3D)的焦点重叠处,光源(1)发射的光中的一部分透过所述偏振分光棱镜(2C)射向所述第一反射镜(2A),所述光中的其他部分经过所述偏振分光棱镜(2C)的反射射向所述第三反射镜(2D)。
7.根据权利要求6所述的反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,所述第二反射镜(2B)与第一透镜组(3A)相对应设置,所述第三反射镜(2D)与第三透镜组(3C)相对应设置。
8.根据权利要求6所述的反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,所述调整组件(6)包括第一调整单元(6A)、第二调整单元(6B)、第三调整单元和第四调整单元,所述第一调整单元(6A)、所述第二调整单元(6B)、所述第三调整单元和所述第四调整单元分别设置在所述第一反射镜(2A)、所述第二反射镜(2B)、所述偏振分光棱镜(2C)和所述第三反射镜(2D)上。
9.根据权利要求8所述的反馈回路调节光源位置的装置,其特征在于,所述第一调整单元(6A)、所述第二调整单元(6B)、所述第三调整单元和所述第四调整单元包括伺服电机,且所述第一调整单元(6A)、所述第二调整单元(6B)、所述第三调整单元和所述第四调整单元的伺服电机输出端分别与所述第一反射镜(2A)、所述第二反射镜(2B)、所述偏振分光棱镜(2C)和所述第三反射镜(2D)相连接。