衍射检测装置、检查设备、检查方法以及检查系统

本发明提供一种衍射检测装置、检查设备及其检查方法、检查系统。衍射检测装置包括支架；衍射辐射源；和衍射辐射检测器，衍射辐射检测器与辐射源限定沿第一方向延伸的检查通道，衍射辐射检测器配置成接收来自检查通道上的被检查对象的经衍射的辐射以便确定导致衍射的物质的特性。支架配置成允许辐射源和衍射辐射检测器能够在支架上跨检查通道沿第二方向移动，第二方向是第一方向的横向。