一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置和方法

1.一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，包括：高温管式炉，其内部设有装载金属单质的样品舟；差分电迁移率分析仪，其带有气溶胶流进气口、气溶胶流出气口、鞘气进气口、鞘气出气口与中央柱形电极，其中，所述气溶胶流进气口连接所述高温管式炉的出气口；流量电压控制盒，其包括两端分别连接鞘气出气口与所述鞘气进气口且流量大小可控的鞘气流管路，以及输出电压大小可控的高压电模块，该高压电模块连接所述中央柱形电极；等离子体发生器，其包括石英管、伸入所述石英管内部且与所述石英管管口位置密封连接的管电极，以及设置在所述石英管外部的环形电极，所述管电极和环形电极分别与等离子体电源的正负极相连，所述管电极内部中空，且其远离石英管的一端还连通所述气溶胶流出气口，所述环形电极接地；所述鞘气流管路上还依次设有流量计、流量控制阀、风机，在风机前后两端还分别设有一个过滤器。 2.根据权利要求1所述的一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，所述样品舟为石英舟或刚玉舟。 3.根据权利要求1所述的一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，所述流量控制阀为针阀。 4.根据权利要求1所述的一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，所述管电极通过绝缘管连接所述气溶胶流出气口。 5.根据权利要求1所述的一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，所述管电极通过一密闭转接头与所述石英管相连。 6.根据权利要求1所述的一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，所述石英管还连接设置一出口管。 7.根据权利要求1所述的一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，所述高压电模块的输出电压范围为-10kV到10kV。 8.根据权利要求1所述的一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，所述等离子体电源为AC电源或高压DC电源。 9.一种生成单分散球形金属气溶胶颗粒的方法，其基于如权利要求1-8任一所述的生成单分散球形金属气溶胶颗粒的装置，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)取金属单质样品装入样品舟内，往高温管式炉中通入惰性载气，加热高温管式炉至预设温度；(2)开启鞘气流管路，并调节鞘气流量达到预设值，设定流量电压控制盒的输出电压；(3)打开等离子体电源，调整至预设输出电压与频率，在管电极与环形电极之间激发等离子体；(4)待高温管式炉温度与等离子体发生器稳定后，在石英管的出口即得到浓度稳定的高度单分散的金属球形颗粒。