1.一种基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,包括:稳定激光束(1)、第一光纤分束器(2)、标准激光能量计(3)、电控光纤衰减器(4)、第二光纤分束器(5)、光选通器(6)、被校激光能量计(7)、计算机(8);稳定激光束(1)经尾纤连接到第一光纤分束器(2),第一光纤分束器(2)分出两束光,一束连接到标准激光能量计(3),另一束连接到电控光纤衰减器(4);电控光纤衰减器(4)连接计算机(8),由计算机(8)调节衰减量,电控光纤衰减器(4)输出端与第二光纤分束器(5)输入端相连,第二光纤分束器(5)分出两束激光,两束激光束连接到光选通器(6)的两个输入端,光选通器(6)的光开关由计算机(8)控制选择照射至被校激光能量计(7)的激光通路;利用所述激光微能量校准装置进行监测比测量时,标准能量计放置在标准激光能量计(3)所在位置与被校激光能量计(7)所在位置测量激光能量值。
2.如权利要求1所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,所述稳定激光束(1)由带尾纤激光器输出。
3.如权利要求2所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,所述第一光纤分束器(2)为50:50分束器。
4.如权利要求3所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,所述稳定激光束(1)、第一光纤分束器(2)、标准激光能量计(3)、电控光纤衰减器(4)、第二光纤分束器(5)和光选通器(6)之间,均通过法兰连接。
5.如权利要求4所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,所述标准激光能量计(3)选用200pJ~20nJ 测量范围激光能量计,稳定性优于0.5%。
6.如权利要求5所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,所述电控光纤衰减器(4)选择两个光纤衰减器串联。
7.如权利要求6所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,所述第二光纤分束器(5)分束比的选择在2~10倍。
8.如权利要求7所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,所述激光微能量校准装置工作时,首先将电控光纤衰减器(4)衰减量设为最小,则标准激光能量计(3)与被校激光能量计(7)处的激光能量相当,通过标准激光能量计(3)与被校激光能量计(7)测量激光能量,计算机(8)读取标准激光能量计(3)处激光能量计读数Q 1 与被校激光能量计(7)处激光能量计读数Q 2 ,计算分束比,将此参数赋值给被校激光能量计(7),以此处能量值为基准值,通过电动衰减器(4)降低能量值,将分束器(5)分束比计为k 1 ,则在每个能量点,由光选通器(6)控制依次输出两路激光光束,则在被校激光能量计(7)上轮流记录激光能量值Q 31 、Q 32 ,则在全量程,两值比恒为k 1 ;更换分束器(5),其分束比计为k 2 ,重复校准流程,得到第二组数据,将两组数据采用最小误差控制法进行线性修正。
9.如权利要求8所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,利用所述激光微能量校准装置进行监测比测量时,,得到监测比R: (1)式中:Q 1 ——标准激光能量计(3)位置处激光能量测量值,J;Q 2 ——被校激光能量计(7)位置处激光能量测量值,J;上述激光能量测量值均采用记录6组取平均值。
10.如权利要求9所述的基于光纤器件的激光微能量校准装置,其特征在于,被校激光能量计(7)标准值修正系数为: (2)式中:Q' 1 ——标准激光能量计(3)位置处标准能量计监测值,J;Q' 2 ——被校激光能量计(7)位置处被检能量计示值,J;上述标准能量计监测值、被检能量计示值均采用记录6组取平均值。