TMRz轴磁场传感器

1.一种TMRz轴磁场传感器，其特征在于，包括：衬底；支撑部，所述支撑部设置在所述衬底上；驱动模块，所述驱动模块的第一端设置在所述支撑部上且与所述支撑部固定连接；传感单元，设置在所述衬底上；条状合金，所述条状合金与所述驱动模块的第二端连接，所述条状合金在所述衬底上的正投影覆盖所述传感单元，其中：所述传感单元用于检测第一方向上的磁场；所述驱动模块用于在驱动电压的作用下以预设频率振动，以带动所述条状合金以预设频率沿靠近或远离所述传感单元的方向进行往复运动来改变第二方向上的磁场，以使空间中第一方向上的磁场也发生变化，其中，所述条状合金在往复运动过程中与所述传感单元的间隔距离大于零，所述第一方向与所述第二方向垂直，且所述第二方向与所述条状合金的振动方向平行；电源模块，与所述驱动模块连接，用于为所述驱动模块提供所述驱动电压；处理器，与所述电源模块和所述传感单元连接，用于根据所述电源模块提供的驱动电压的参数、所述驱动模块的弹性参数以及驱动模块的设置高度，确定当前所述条状合金与所述传感单元的间隔距离；根据所述间隔距离、所述间隔距离和第一方向上的磁场与第二方向上的磁场的转换比例之间的对应关系，确定当前的第一方向上的磁场与第二方向上的磁场的转换比例；根据所述第一方向上的磁场和所述转换比例，确定所述第二方向上的磁场。 2.根据权利要求1所述的磁场传感器，其特征在于，所述条状合金为坡莫合金。 3.根据权利要求1所述的磁场传感器，其特征在于，所述处理器还用于控制所述电源模块提供的驱动电压的参数，以调节所述条状合金的振动频率和振动幅度。 4.根据权利要求1所述的磁场传感器，其特征在于，所述传感单元的数量为多个，多个所述传感单元均匀设置在所述衬底上；所述处理器分别与各所述传感单元连接，用于根据各所述传感单元分别检测到的检测数据，确定第一方向上的磁场。 5.根据权利要求4所述的磁场传感器，其特征在于，相邻两个传感单元组成一个推挽式全桥磁场传感器。 6.根据权利要求1所述的磁场传感器，其特征在于，所述驱动模块包括：依次层叠设置的弹性层、下电极层、压电层、上电极层，其中：所述上电极层和所述下电极层用于接收驱动电压，并将所述驱动电压施加在所述压电层上；所述压电层用于在所述驱动电压的作用下进行振动，以带动所述弹性层发生弹性形变；所述弹性层用于发生弹性形变以带动各层进行振动，以带动所述条状合金振动。 7.根据权利要求6所述的磁场传感器，其特征在于，所述驱动模块还包括：上绝缘层，设置在所述上电极层远离所述压电层的侧面；下绝缘层，设置在所述弹性层与所述下电极层之间。 8.根据权利要求1所述的磁场传感器，其特征在于，所述驱动模块包括第一驱动臂和第二驱动臂；所述第一驱动臂的第一端设置在所述支撑部上且与所述支撑部固定连接，所述第一驱动臂的第二端与所述条状合金的第一端连接；所述第二驱动臂的第一端设置在所述支撑部上且与所述支撑部固定连接，所述第二驱动臂的第二端与所述条状合金的第二端连接。 9.根据权利要求8所述的磁场传感器，其特征在于，所述第一驱动臂和所述第二驱动臂关于所述条状合金的中点对称设置。 10.根据权利要求1所述的磁场传感器，其特征在于，所述条状合金在未振动时与所述传感单元的间隔距离大于0，小于25um。